Навигация по таблицам
- Таблица 1: Классы чистоты по ISO 14644-1 с концентрацией частиц
- Таблица 2: Применение классов чистоты в различных отраслях
- Таблица 3: Требования к вентиляции для разных классов
- Таблица 4: Классификация фильтров для чистых помещений
Таблица 1: Классы чистоты по ISO 14644-1 с концентрацией частиц
| Класс ISO | Частицы ≥0,1 мкм (шт/м³) | Частицы ≥0,5 мкм (шт/м³) | Частицы ≥1 мкм (шт/м³) | Частицы ≥5 мкм (шт/м³) |
|---|---|---|---|---|
| ISO 1 | 10 | 2 | - | - |
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | - |
| ISO 3 | 1 000 | 237 | 102 | - |
| ISO 4 | 10 000 | 2 370 | 1 020 | - |
| ISO 5 | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 293 |
| ISO 6 | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 2 930 |
| ISO 7 | - | 2 370 000 | 1 020 000 | 29 300 |
| ISO 8 | - | 23 700 000 | 10 200 000 | 293 000 |
| ISO 9 | - | 237 000 000 | 102 000 000 | 2 930 000 |
Примечание: Значения указаны для максимально допустимой концентрации частиц в одном кубическом метре воздуха. Прочерк означает, что для данного класса контроль частиц этого размера не требуется.
Таблица 2: Применение классов чистоты в различных отраслях
| Класс ISO | GMP класс | Основные области применения | Типичные процессы |
|---|---|---|---|
| ISO 1-2 | - | Нанотехнологии, полупроводники | Производство микрочипов с минимальными размерами элементов |
| ISO 3-4 | - | Микроэлектроника, оптика | Сборка интегральных схем, производство жестких дисков |
| ISO 5 | A (в работе) | Фармацевтика, асептические процессы | Розлив стерильных препаратов, операционные зоны |
| ISO 6 | B | Фармацевтика, медицина | Подготовка растворов, вспомогательные зоны в операционных |
| ISO 7 | C | Фармацевтика, пищевая промышленность | Производство нестерильных лекарств, подготовка компонентов |
| ISO 8 | D | Фармацевтика, медицинские изделия | Упаковка готовой продукции, складские помещения |
| ISO 9 | - | Общепромышленные помещения | Коридоры, переходные зоны, складские помещения |
Таблица 3: Требования к вентиляции для разных классов
| Класс ISO | Кратность воздухообмена (раз/час) | Тип воздушного потока | Перепад давления (Па) | Скорость воздуха (м/с) |
|---|---|---|---|---|
| ISO 1-4 | Однонаправленный поток | Ламинарный | 15-20 | 0,3-0,5 |
| ISO 5 | 240-480 | Ламинарный/Смешанный | 10-15 | 0,2-0,45 |
| ISO 6 | 70-160 | Турбулентный | 10-15 | - |
| ISO 7 | 30-60 | Турбулентный | 5-10 | - |
| ISO 8 | 15-25 | Турбулентный | 5-10 | - |
| ISO 9 | 5-15 | Турбулентный | 0-5 | - |
Примечание: Кратность воздухообмена может варьироваться в зависимости от теплоизбытков, количества персонала и особенностей технологического процесса.
Таблица 4: Классификация фильтров для чистых помещений
| Класс фильтра | Группа | Эффективность (%) | Размер частиц (мкм) | Применение в классах ISO |
|---|---|---|---|---|
| E10 | EPA | 85 | ≥0,3 | ISO 8-9 |
| E11 | EPA | 95 | ≥0,3 | ISO 7-8 |
| E12 | EPA | 99,5 | ≥0,3 | ISO 6-7 |
| H13 | HEPA | 99,95 | ≥0,3 | ISO 5-6 |
| H14 | HEPA | 99,995 | ≥0,3 | ISO 4-5 |
| U15 | ULPA | 99,9995 | ≥0,12 | ISO 2-4 |
| U16 | ULPA | 99,99995 | ≥0,12 | ISO 1-3 |
| U17 | ULPA | 99,999995 | ≥0,12 | ISO 1-2 |
Содержание статьи
- 1. Международный стандарт ISO 14644: основа классификации
- 2. Принципы классификации чистых помещений
- 3. Характеристики основных классов чистоты
- 4. Системы вентиляции и кондиционирования
- 5. Многоступенчатая фильтрация воздуха
- 6. Организация воздушных потоков
- 7. Контроль и мониторинг параметров
- Часто задаваемые вопросы
1. Международный стандарт ISO 14644: основа классификации
Стандарт ISO 14644 представляет собой комплексную систему нормативных документов, разработанную Международной организацией по стандартизации для классификации и контроля чистых помещений. В Российской Федерации этот стандарт принят как ГОСТ Р ИСО 14644, который устанавливает единые требования к чистоте воздуха в производственных помещениях различных отраслей промышленности.
Основой стандарта является часть ISO 14644-1, которая определяет классификацию чистоты воздуха по концентрации взвешенных частиц. Стандарт устанавливает девять классов чистоты от ISO 1 до ISO 9, где класс ISO 1 представляет наивысший уровень чистоты с минимальным содержанием частиц в воздухе, а класс ISO 9 соответствует условиям, близким к чистому наружному воздуху.
Формула расчета максимально допустимой концентрации частиц
Согласно стандарту ISO 14644-1, максимально допустимая концентрация частиц определяется по формуле:
Cn = 10^N × (0,1 / D)^2,08
где:
- Cn - максимально допустимая концентрация частиц (частиц/м³)
- N - классификационное число ISO (от 1 до 9)
- D - рассматриваемый размер частиц (мкм)
- 0,1 - константа (мкм)
Пример расчета для класса ISO 5
Рассчитаем максимально допустимую концентрацию частиц размером ≥0,5 мкм для класса ISO 5:
Cn = 10^5 × (0,1 / 0,5)^2,08 = 100 000 × (0,2)^2,08 = 100 000 × 0,237 ≈ 23 700 частиц/м³
Это значение точно соответствует данным таблицы классификации.
Стандарт распространяется на частицы в диапазоне размеров от 0,1 до 5,0 мкм. Для частиц меньшего или большего размера применяются дополнительные дескрипторы: U-дескриптор для ультрамелких частиц (менее 0,1 мкм) и M-дескриптор для макрочастиц (более 5,0 мкм). Важно отметить, что стандарт не описывает физические, химические или биологические свойства частиц, а фокусируется исключительно на их количественном содержании.
2. Принципы классификации чистых помещений
Классификация чистых помещений основывается на измерении концентрации аэрозольных частиц определенных размеров в единице объема воздуха. Процесс классификации проводится с использованием высокоточных лазерных счетчиков частиц, которые работают по принципу светорассеяния. Эти приборы способны обнаруживать и подсчитывать отдельные частицы в потоке воздуха, проходящем через измерительную камеру.
Стандарт определяет три состояния чистого помещения, в которых может проводиться классификация. Построенное состояние предполагает завершенное помещение с установленными системами вентиляции, но без производственного оборудования. Оснащенное состояние включает полностью установленное и функционирующее оборудование, но без присутствия персонала. Эксплуатируемое состояние представляет собой работающее помещение с персоналом, выполняющим нормальную производственную деятельность.
Важно: Класс чистоты помещения может отличаться в зависимости от состояния. Например, помещение может соответствовать классу ISO 5 в оснащенном состоянии, но только классу ISO 6 или ISO 7 в эксплуатируемом состоянии.
Методика отбора проб требует определения минимального количества точек отбора и объема пробы для каждой точки. Количество точек отбора рассчитывается на основе площади помещения по специальной формуле, при этом минимальное число точек составляет три независимо от размера помещения. Объем отбираемого воздуха в каждой точке должен быть достаточным для обнаружения необходимого количества частиц с требуемой статистической достоверностью.
При классификации используется принцип, согласно которому можно утверждать с вероятностью не менее девяноста пяти процентов, что девяносто процентов площади чистого помещения находится в пределах допустимых концентраций частиц для заданного класса чистоты. Этот статистический подход обеспечивает надежность и воспроизводимость результатов классификации, позволяя объективно оценивать соответствие помещения установленным требованиям.
3. Характеристики основных классов чистоты
Класс ISO 1 представляет собой наивысший уровень чистоты и применяется в наиболее критичных производственных процессах нанотехнологий и производства полупроводниковых устройств с минимальными размерами элементов. В таких помещениях допускается присутствие не более десяти частиц размером 0,1 мкм и более на кубический метр воздуха. Достижение такого уровня чистоты требует использования самых совершенных систем фильтрации ULPA класса U16-U17 и организации строго ламинарного воздушного потока.
Классы ISO 2-4 используются в микроэлектронной промышленности для производства интегральных схем, жестких дисков компьютеров и оптических компонентов высокой точности. Эти классы требуют применения ULPA фильтров класса U15 и HEPA фильтров класса H14, а также поддержания однонаправленного ламинарного потока воздуха по всей площади помещения. Персонал в таких помещениях работает в специальной защитной одежде, покрывающей все тело, включая лицо.
Класс ISO 5 широко применяется в фармацевтической промышленности для асептических процессов, включая розлив стерильных препаратов. По классификации GMP этот класс соответствует зоне класса A в эксплуатируемом состоянии. Для обеспечения такого уровня чистоты применяются HEPA фильтры класса H13-H14 с кратностью воздухообмена от двухсот сорока до четырехсот восьмидесяти раз в час. Концентрация частиц размером 0,5 мкм и более не должна превышать 23 700 частиц на кубический метр.
Классы ISO 6-7 представляют собой средний уровень чистоты и применяются в фармацевтическом производстве нестерильных препаратов, в пищевой промышленности, при производстве медицинских изделий. Класс ISO 6 соответствует GMP классу B, а ISO 7 - классу C. Эти помещения оборудуются системами вентиляции с турбулентным потоком воздуха и фильтрами класса E12-H13. Кратность воздухообмена составляет от тридцати до ста шестидесяти раз в час в зависимости от конкретных требований производственного процесса.
Класс ISO 8 используется для вспомогательных помещений фармацевтических производств, складов готовой продукции, упаковочных участков. Он соответствует GMP классу D и требует применения фильтров класса E11-E12 с кратностью воздухообмена от пятнадцати до двадцати пяти раз в час. Класс ISO 9 применяется для коридоров, шлюзовых зон и других вспомогательных помещений, где не требуется высокий уровень чистоты, но необходим контроль над содержанием частиц в воздухе.
4. Системы вентиляции и кондиционирования
Система вентиляции чистого помещения выполняет несколько критически важных функций, которые обеспечивают поддержание требуемого класса чистоты. Основная задача заключается в непрерывной подаче очищенного приточного воздуха в помещение с одновременным удалением загрязненного воздуха. Количество подаваемого воздуха должно значительно превышать объем удаляемого для создания избыточного давления, препятствующего проникновению загрязнений из смежных помещений.
Приточный воздух выполняет комплекс функций: обеспечение требуемого класса чистоты по аэрозольным частицам, поддержание микробиологической чистоты там где это требуется, подачу необходимого количества наружного воздуха по санитарно-гигиеническим нормам, удаление избытков теплоты и влаги, поддержание заданных параметров температуры и влажности, компенсацию утечек воздуха через неплотности ограждающих конструкций.
Расчет кратности воздухообмена
Кратность воздухообмена K рассчитывается по формуле:
K = L / V
где:
- K - кратность воздухообмена (1/час)
- L - расход приточного воздуха (м³/час)
- V - объем помещения (м³)
Пример расчета для помещения класса ISO 6
Помещение объемом 120 м³ требует класса чистоты ISO 6. Принимаем кратность воздухообмена K = 100 раз/час.
Необходимый расход воздуха: L = K × V = 100 × 120 = 12 000 м³/час
При работе вентиляторов 24 часа в сутки за сутки через помещение пройдет 288 000 м³ воздуха.
Перепад давления между помещениями различных классов чистоты является важным параметром, препятствующим перетеканию загрязненного воздуха из менее чистых помещений в более чистые. Стандартная практика предусматривает поддержание перепада давления от пяти до двадцати паскалей между смежными помещениями, при этом в помещении с более высоким классом чистоты поддерживается более высокое давление. Для помещений с однонаправленным потоком воздуха перепад может достигать пятнадцати - двадцати паскалей.
Системы вентиляции чистых помещений обычно работают в режиме частичной рециркуляции воздуха для снижения энергозатрат на нагрев или охлаждение наружного воздуха. При этом доля свежего наружного воздуха должна составлять не менее десяти - двадцати процентов от общего объема приточного воздуха, что обеспечивает необходимую санитарную норму свежего воздуха для персонала. Исключение составляют помещения, где ведутся работы с опасными веществами или патогенными микроорганизмами - в таких случаях применяется прямоточная система без рециркуляции.
5. Многоступенчатая фильтрация воздуха
Многоступенчатая система фильтрации является основой обеспечения требуемой чистоты воздуха в чистых помещениях. Согласно требованиям ГОСТ Р 56638-2015, для чистых помещений должна применяться как минимум трехступенчатая система очистки воздуха. Каждая ступень фильтрации выполняет определенную функцию и защищает последующие ступени от преждевременного загрязнения.
Первая ступень фильтрации использует фильтры грубой очистки класса G3-G4, которые устанавливаются в приточных камерах вентиляционных установок. Эти фильтры задерживают крупные частицы пыли размером более десяти микрометров, защищая внутренние поверхности воздуховодов и последующие ступени фильтрации от загрязнения. Эффективность таких фильтров по синтетической пыли составляет от сорока до девяноста процентов.
Вторая ступень фильтрации включает фильтры тонкой очистки класса F7-F9, которые устанавливаются в центральных приточных установках или в воздуховодах перед входом в чистые помещения. Эти фильтры улавливают частицы размером от одного до десяти микрометров с эффективностью от восьмидесяти до девяноста пяти процентов. Применение фильтров тонкой очистки существенно продлевает срок службы конечных высокоэффективных фильтров.
Третья ступень представлена высокоэффективными фильтрами EPA, HEPA или ULPA, которые устанавливаются непосредственно перед подачей воздуха в чистое помещение. Фильтры EPA класса E10-E12 применяются для помещений классов ISO 7-9 и обеспечивают эффективность от восьмидесяти пяти до девяноста девяти целых пяти десятых процента. Фильтры HEPA класса H13-H14 используются для классов ISO 4-6 с эффективностью до девяноста девяти целых девятисот девяноста пяти десятитысячных процента.
Критически важно: Фильтры высокой эффективности HEPA и ULPA должны устанавливаться только после завершения всех строительных и монтажных работ, непосредственно перед проведением квалификационных испытаний помещения. Это предотвращает их преждевременное загрязнение строительной пылью.
Фильтры ULPA класса U15-U17 представляют собой наиболее совершенные устройства фильтрации, способные задерживать частицы размером от 0,12 микрометра с эффективностью до девяноста девяти целых девятисот девяноста девяти тысяч девятисот девяноста пяти стотысячных процента. Они применяются в помещениях классов ISO 1-3 для производства полупроводников и в других критических применениях. Конструктивно фильтры ULPA не отличаются от HEPA, но используют более тонкие и плотно упакованные волокна фильтрующего материала.
6. Организация воздушных потоков
Организация воздушных потоков в чистых помещениях является критическим фактором, определяющим эффективность удаления загрязнений из рабочей зоны. Существует два основных типа организации воздушных потоков: однонаправленный или ламинарный поток и неоднонаправленный или турбулентный поток. Выбор типа потока зависит от требуемого класса чистоты помещения и особенностей технологического процесса.
Однонаправленный ламинарный поток характеризуется движением воздуха с постоянной скоростью и параллельными линиями тока по всему поперечному сечению помещения. Такой поток применяется в помещениях высоких классов чистоты ISO 1-5, где требуется быстрое и эффективное удаление загрязнений из рабочей зоны. Воздух подается через потолочные фильтрующие панели, занимающие всю площадь потолка или его значительную часть, и удаляется через решетки в полу или в нижней части стен.
Скорость однонаправленного потока обычно составляет от 0,2 до 0,5 метра в секунду. Такая скорость обеспечивает эффективное удаление частиц без создания чрезмерной турбулентности. В некоторых особо критичных зонах, например в асептических зонах фармацевтических производств, скорость потока может быть увеличена до 0,45 метра в секунду. Важно обеспечить равномерность скорости по всему сечению помещения, что достигается правильным проектированием системы воздухораспределения.
Пример расчета расхода воздуха для ламинарного потока
Помещение класса ISO 5 имеет площадь пола S = 50 м². Требуемая скорость потока v = 0,3 м/с.
Расход воздуха: L = S × v × 3600 = 50 × 0,3 × 3600 = 54 000 м³/час
При высоте помещения 3 метра объем V = 150 м³, кратность воздухообмена K = 54 000 / 150 = 360 раз/час.
Неоднонаправленный турбулентный поток применяется в помещениях средних и низких классов чистоты ISO 6-9. При такой организации воздушного потока приточный воздух подается через воздухораспределительные устройства, расположенные в потолке или верхней части стен, и создает турбулентное перемешивание воздуха в помещении. Удаление воздуха осуществляется через вытяжные решетки, равномерно распределенные по периметру помещения в нижней части стен.
Эффективность турбулентной вентиляции зависит от правильного размещения приточных и вытяжных устройств, а также от количества подаваемого воздуха. Чем выше кратность воздухообмена, тем эффективнее разбавление загрязнений и поддержание требуемой чистоты. Важно избегать образования застойных зон, где воздухообмен затруднен, так как в этих зонах могут накапливаться загрязнения. Правильное размещение оборудования и мебели играет важную роль в обеспечении эффективной циркуляции воздуха.
7. Контроль и мониторинг параметров
Контроль и мониторинг параметров чистых помещений представляет собой непрерывный процесс измерения и документирования ключевых показателей, определяющих соответствие помещения установленному классу чистоты. Согласно стандарту ISO 14644-2, для каждого чистого помещения должен быть разработан план мониторинга, определяющий периодичность измерений, контролируемые параметры и критерии приемлемости результатов.
Контроль концентрации частиц в воздухе осуществляется с использованием портативных или стационарных лазерных счетчиков частиц. Эти приборы должны быть откалиброваны в соответствии с требованиями ISO 21501-4 и проходить поверку не реже одного раза в двенадцать месяцев. Измерения проводятся в критических точках помещения, которые определяются на основе анализа рисков и знания технологического процесса. Частота контроля зависит от класса чистоты и критичности процесса.
Мониторинг микробиологической чистоты воздуха проводится в помещениях фармацевтических производств и медицинских учреждений методом седиментации на питательные среды или активным отбором проб воздуха с помощью микробиологических пробоотборников. Результаты выражаются в колониеобразующих единицах на кубический метр воздуха. Для помещений класса ISO 5 и выше действуют жесткие требования по микробиологической чистоте, включая отсутствие патогенных микроорганизмов.
Контроль перепадов давления между помещениями осуществляется с помощью дифференциальных манометров, которые должны быть установлены стационарно и подключены к системе автоматического мониторинга. Отклонение перепада давления от заданного значения может свидетельствовать о нарушении герметичности помещения, засорении фильтров или неисправности вентиляционной системы. Система должна обеспечивать оперативное оповещение персонала о выходе параметров за установленные пределы.
Расчет минимального числа точек отбора проб
Минимальное число точек отбора проб NL рассчитывается по формуле:
NL = √A
где A - площадь помещения в м², при этом минимальное значение NL = 3 (округление до большего целого числа).
Пример расчета для помещения площадью 225 м²
NL = √225 = 15 точек отбора проб
Для помещения площадью 30 м²: NL = √30 = 5,48, округляем до 6 точек.
Для помещения площадью 8 м²: NL = √8 = 2,83, но минимум составляет 3 точки.
Мониторинг параметров микроклимата включает контроль температуры и относительной влажности воздуха. Эти параметры важны не только для комфорта персонала, но и для обеспечения стабильности технологических процессов. Температура в чистых помещениях обычно поддерживается в диапазоне от восемнадцати до двадцати двух градусов Цельсия, относительная влажность от тридцати до шестидесяти процентов. Для некоторых специфических процессов могут требоваться более узкие диапазоны контроля этих параметров.
Система мониторинга должна обеспечивать автоматическую регистрацию всех измеряемых параметров с сохранением данных в базе данных для последующего анализа. Современные системы позволяют формировать тренды изменения параметров во времени, что помогает выявлять потенциальные проблемы до того, как они приведут к выходу параметров за допустимые пределы. Анализ трендов является важным инструментом превентивного обслуживания систем обеспечения чистоты.
Часто задаваемые вопросы
Выбор класса чистоты зависит от нескольких факторов: типа производимой продукции, требований регуляторных органов и чувствительности технологического процесса к загрязнениям. Для фармацевтических производств классы чистоты регламентируются правилами GMP и соответствующими нормативными документами. Для асептических процессов требуется класс ISO 5 (GMP класс A), для вспомогательных зон - ISO 6-7 (классы B-C).
В микроэлектронике выбор класса определяется размерами производимых элементов: чем меньше размер, тем выше требуется класс чистоты. Для производства микросхем с топологией менее 100 нанометров обычно требуются помещения класса ISO 3-4. В пищевой промышленности достаточно классов ISO 7-8 для большинства процессов.
Рекомендуется проконсультироваться со специалистами по чистым помещениям и провести анализ рисков для определения оптимального класса чистоты, который обеспечит требуемое качество продукции при разумных затратах на создание и эксплуатацию.
Классификация ISO 14644 является универсальной международной системой, применимой ко всем отраслям промышленности и основанной исключительно на концентрации аэрозольных частиц в воздухе. Она определяет девять классов от ISO 1 до ISO 9, где меньший номер соответствует более высокому уровню чистоты.
Классификация GMP (Good Manufacturing Practice) специфична для фармацевтической промышленности и определяет четыре класса: A, B, C и D. Эта система учитывает не только концентрацию частиц, но и микробиологическую чистоту воздуха, что критически важно для производства лекарственных средств. Класс A соответствует примерно ISO 5 в эксплуатируемом состоянии, класс B - ISO 5 в состоянии покоя, класс C - ISO 7, класс D - ISO 8.
Важное различие заключается в том, что GMP регламентирует два состояния помещения: в покое (без персонала) и в работе (с персоналом), тогда как ISO определяет три состояния: построенное, оснащенное и эксплуатируемое. В фармацевтической промышленности обычно используют обе классификации одновременно для более полного описания требований.
Периодичность замены HEPA фильтров определяется не календарными сроками, а состоянием фильтров и результатами контроля их эффективности. Основными критериями необходимости замены являются: увеличение перепада давления на фильтре выше допустимого значения, снижение эффективности фильтрации по результатам испытаний, видимые повреждения фильтрующего материала или корпуса.
В практике эксплуатации фармацевтических производств HEPA фильтры класса H13-H14 обычно служат от двух до пяти лет при условии правильной эксплуатации и наличии предварительных ступеней фильтрации. Фильтры ULPA класса U15-U17 в микроэлектронике могут требовать замены чаще из-за более жестких требований к чистоте.
Обязательным является ежегодное тестирование целостности HEPA фильтров методом DOP-теста или аналогичными методами. Контроль перепада давления на фильтрах должен осуществляться непрерывно с помощью манометров. Увеличение перепада на тридцать - пятьдесят процентов от начального значения обычно указывает на необходимость замены.
Да, рециркуляция воздуха не только возможна, но и широко применяется в системах вентиляции чистых помещений. Это позволяет существенно снизить энергозатраты на нагрев или охлаждение наружного воздуха, особенно в регионах с экстремальными климатическими условиями. Типичная доля рециркулируемого воздуха составляет от семидесяти до девяноста процентов от общего объема приточного воздуха.
Однако существуют важные ограничения и требования безопасности. Доля свежего наружного воздуха должна быть достаточной для обеспечения санитарных норм - обычно это от десяти до тридцати процентов. В помещениях, где ведутся работы с токсичными веществами, патогенными микроорганизмами, радиоактивными материалами или взрывоопасными веществами, рециркуляция воздуха запрещена, и должна применяться только прямоточная система вентиляции.
При использовании рециркуляции критически важно обеспечить правильную организацию воздуховодов, исключающую возможность перетекания воздуха из менее чистых помещений в более чистые. Рециркуляционный воздух должен проходить через все ступени фильтрации, включая конечные HEPA фильтры, для поддержания требуемого класса чистоты.
Параметры микроклимата в чистых помещениях определяются требованиями технологического процесса и условиями комфорта для персонала. Типичные диапазоны температуры составляют от восемнадцати до двадцати двух градусов Цельсия, с точностью поддержания плюс-минус 0,5 - 2 градуса в зависимости от класса чистоты. Более высокие классы чистоты обычно требуют более узких диапазонов контроля.
Относительная влажность воздуха обычно поддерживается в диапазоне от тридцати до шестидесяти процентов. В помещениях классов ISO 5 и выше влажность не должна превышать шестидесяти процентов для предотвращения роста микроорганизмов. Для некоторых производств микроэлектроники требуется поддержание пониженной влажности (менее тридцати процентов) для предотвращения конденсации влаги на изделиях.
Скорость движения воздуха в рабочей зоне при турбулентной вентиляции обычно составляет от 0,1 до 0,2 метра в секунду, что обеспечивает комфортные условия без сквозняков. Для ламинарных потоков скорость составляет от 0,2 до 0,5 метра в секунду в зависимости от класса чистоты. Важно обеспечить стабильность этих параметров во времени, так как их колебания могут негативно влиять на качество продукции.
Да, использование специальной одежды является обязательным требованием для работы в чистых помещениях, так как человек является основным источником загрязнений. Тип и комплектность одежды зависят от класса чистоты помещения. Для помещений класса ISO 8-9 достаточно халатов или комбинезонов из антистатической ткани, не выделяющей частиц, в сочетании с шапочками и бахилами.
Для помещений класса ISO 5-7 требуется более полная защита: стерильные комбинезоны, покрывающие все тело, специальная обувь, двойные перчатки, маски или респираторы. Одежда должна быть изготовлена из нетканых материалов со специальной обработкой, препятствующей выделению частиц и микроорганизмов. В помещениях класса ISO 5 и выше вся одежда должна проходить стерилизацию перед использованием.
Для помещений наивысших классов чистоты ISO 1-4, используемых в микроэлектронике, применяются полностью закрытые костюмы с автономной системой подачи воздуха, покрывающие все тело включая лицо. Такая одежда минимизирует выделение частиц от человека и обеспечивает комфортные условия работы. Переодевание должно осуществляться в специальных шлюзовых зонах с соблюдением установленных процедур.
Аттестация чистых помещений представляет собой комплекс испытаний и измерений, подтверждающих соответствие помещения установленным требованиям. Процесс включает три основных этапа: квалификацию проекта, квалификацию монтажа и квалификацию функционирования. Квалификация проекта верифицирует, что проектная документация соответствует требованиям пользователя и нормативным документам.
Квалификация монтажа проводится после завершения строительства и установки оборудования. Она включает проверку правильности установки всех систем, испытания герметичности помещения, измерение перепадов давления, тестирование целостности HEPA фильтров методом DOP-теста или аналогичными методами. На этом этапе проводится первичная классификация чистоты воздуха в оснащенном состоянии без присутствия персонала.
Квалификация функционирования выполняется в присутствии персонала при имитации или проведении реальных производственных операций. Измеряется концентрация частиц в эксплуатируемом состоянии, проводится микробиологический мониторинг, проверяется время восстановления чистоты после внесения загрязнений. Результаты всех испытаний документируются в протоколах аттестации. Периодическая переаттестация обычно проводится ежегодно или после значительных изменений в помещении.
Материалы для отделки чистых помещений должны обладать особыми свойствами: не выделять частиц и газов, легко очищаться и дезинфицироваться, быть устойчивыми к моющим и дезинфицирующим средствам, не поддерживать рост микроорганизмов. Для стен и потолков обычно применяются специальные сэндвич-панели с металлическими облицовками и утеплителем внутри, окрашенные эпоксидными красками или имеющие полимерное покрытие.
Полы в чистых помещениях выполняются из специальных наливных полимерных материалов на основе эпоксидных или полиуретановых смол. Такие полы создают монолитную бесшовную поверхность, легко моются, обладают антистатическими свойствами и высокой износостойкостью. Места сопряжений пола со стенами должны иметь закругления радиусом не менее пятидесяти миллиметров для предотвращения накопления загрязнений.
Все технологические проходки, светильники, воздухораспределительные устройства должны быть установлены заподлицо с поверхностями стен и потолков, без выступающих элементов, где могут накапливаться частицы. Оконные конструкции обычно не предусматриваются, но если они необходимы по требованиям персонала, используются двойные или тройные стеклопакеты, установленные заподлицо со стеной. Все материалы должны иметь сертификаты соответствия требованиям для чистых помещений.
Организация потоков персонала является критически важным аспектом обеспечения и поддержания чистоты помещений. Основной принцип заключается в создании системы шлюзов, обеспечивающих постепенный переход из обычной среды в чистую зону через промежуточные помещения с повышающимся классом чистоты. Типичная схема включает: раздевалку обычной одежды, помещение переодевания в специальную одежду, воздушный душ и вход в чистую зону.
Шлюзы должны быть оборудованы двумя дверями с блокировкой, исключающей одновременное открытие обеих дверей. Это предотвращает прямое перетекание воздуха между зонами с разными классами чистоты. Размеры шлюзов должны быть достаточными для комфортного переодевания и прохода персонала, обычно не менее двух квадратных метров на одного человека. Перепад давления в шлюзах должен обеспечивать движение воздуха из более чистой зоны в менее чистую.
Воздушные души являются важным элементом системы контроля загрязнений. В воздушном душе на персонал направляются мощные струи очищенного воздуха, сдувающие с одежды рыхлые частицы. Скорость воздуха в воздушном душе составляет от двадцати до двадцати пяти метров в секунду, время нахождения - от пятнадцати до тридцати секунд. После воздушного душа персонал входит в чистую зону через шлюз. Выход из чистой зоны осуществляется по отдельному маршруту без повторного прохождения через воздушный душ.
Наиболее распространенной ошибкой является недостаточный учет всех источников загрязнений на стадии проектирования. Часто не учитывается количество частиц, выделяемых оборудованием и персоналом, что приводит к занижению требуемой кратности воздухообмена. Также часто недооценивается важность правильной организации потоков воздуха, материалов и персонала, что может привести к образованию застойных зон с повышенным загрязнением.
Другой типичной ошибкой является экономия на предварительных ступенях фильтрации. Установка только конечных HEPA фильтров без фильтров грубой и тонкой очистки приводит к их быстрому засорению и необходимости частой замены. Правильная трехступенчатая система фильтрации существенно продлевает срок службы дорогостоящих HEPA фильтров. Также часто недооценивается важность герметичности помещения - неплотности в ограждающих конструкциях могут свести на нет всю работу систем вентиляции.
Недостаточное внимание к системам мониторинга и контроля является еще одной распространенной ошибкой. Отсутствие стационарных систем контроля перепадов давления, непрерывного мониторинга концентрации частиц в критических зонах затрудняет своевременное обнаружение проблем. Также часто забывают о необходимости обучения персонала правилам работы в чистых помещениях - даже самое совершенное помещение не будет работать эффективно без подготовленного персонала, понимающего важность соблюдения установленных процедур.
Важная информация
Данная статья носит исключительно ознакомительный и информационный характер. Представленная информация не является руководством к действию и не может заменить консультации квалифицированных специалистов в области проектирования и эксплуатации чистых помещений.
Для проектирования, строительства, аттестации и эксплуатации чистых помещений необходимо привлекать специализированные организации, имеющие соответствующие лицензии и опыт работы. Все проектные решения должны разрабатываться с учетом конкретных условий и требований производства в соответствии с действующими нормативными документами.
Источники информации
При подготовке статьи использовались следующие авторитетные источники:
- ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц"
- ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу"
- ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний"
- ГОСТ Р ИСО 14644-4-2002 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 4. Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию"
- ГОСТ Р 56638-2015 "Чистые помещения. Вентиляция и кондиционирование воздуха. Общие требования"
- ГОСТ Р 52539-2006 "Чистота воздуха в лечебных учреждениях. Общие требования"
- Международный стандарт ISO 14644 "Cleanrooms and associated controlled environments"
- Правила GMP (Good Manufacturing Practice) Европейского союза
- Научные публикации и технические материалы специализированных организаций в области чистых помещений
Отказ от ответственности
Автор и издатель данного материала не несут ответственности за любые последствия, которые могут возникнуть в результате использования информации, содержащейся в данной статье. Все технические решения, касающиеся проектирования, строительства и эксплуатации чистых помещений, должны приниматься квалифицированными специалистами с учетом конкретных условий и требований.
Информация актуальна на момент публикации. Нормативные документы и стандарты могут изменяться, поэтому рекомендуется использовать актуальные редакции документов при разработке проектов. Для получения профессиональной консультации обращайтесь к специализированным инженерным и проектным организациям.
