Прецизионные шарико-винтовые передачи с точностью позиционирования ±0.1 мкм
Содержание статьи
- 1. Что такое прецизионные ШВП и их роль в современной индустрии
- 2. Классы точности и международные стандарты
- 3. Технология производства прецизионных ШВП
- 4. Ультрапрецизионное позиционирование: достижение точности ±0.1 мкм
- 5. Применение в высокотехнологичных отраслях
- 6. Факторы, влияющие на точность позиционирования
- 7. Методы контроля и измерения точности
- 8. Техническое обслуживание и условия эксплуатации
- Часто задаваемые вопросы
Шарико-винтовые передачи представляют собой ключевой элемент современного высокоточного оборудования. В эпоху микро- и нанотехнологий требования к точности позиционирования достигли беспрецедентного уровня. Прецизионные ШВП с точностью позиционирования до одной десятой микрометра открывают новые возможности в полупроводниковой промышленности, оптике, медицинском оборудовании и научных исследованиях. Данная статья детально рассматривает технические аспекты, конструктивные особенности и практическое применение этих высокоточных механизмов.
1. Что такое прецизионные ШВП и их роль в современной индустрии
Шарико-винтовая передача представляет собой механический линейный привод, преобразующий вращательное движение в поступательное с минимальными потерями на трение. Конструкция состоит из винта с резьбовой дорожкой, гайки и шариков, циркулирующих между ними. В отличие от традиционных винтовых передач, где используется скольжение, в ШВП применяется принцип качения, что обеспечивает коэффициент полезного действия от девяноста до девяноста пяти процентов в зависимости от конструкции и предварительного натяга.
Прецизионные ШВП отличаются от обычных исключительно жесткими допусками на все геометрические параметры. Высочайшая точность изготовления резьбовой дорожки, минимальное биение вала, точная геометрия шариков и специальные методы предварительного натяга позволяют достигать субмикронной точности позиционирования. Это критически важно для современных производственных процессов, где размеры элементов измеряются нанометрами.
Пример применения
В производстве полупроводников при изготовлении микросхем с технологическими нормами три нанометра требуется позиционирование фотошаблона с точностью менее ста нанометров. Только прецизионные ШВП класса C0-C1 способны обеспечить такую точность при длине хода более пятидесяти сантиметров.
2. Классы точности и международные стандарты
Точность шарико-винтовых передач регламентируется несколькими международными стандартами. Основными являются ISO 3408 (международный), DIN 69051 (немецкий, гармонизирован с ISO как DIN ISO 3408) и JIS B1192 (японский). JIS B1192 был обновлен в 2013 году для соответствия ISO 3408-1, -2, -3 (определения, номинальные размеры и условия приемки), а в 2018 году для соответствия ISO 3408-4, -5 (осевая жесткость и грузоподъемность). Эти стандарты определяют допустимые отклонения хода, биение, геометрические параметры и методы контроля.
| Класс точности | Отклонение хода на 300 мм (мкм) | Отклонение на оборот (мкм) | Типичное применение |
|---|---|---|---|
| C0 (P0) | 3.5 | 3 | Прецизионные измерительные системы |
| C1 (P1) | 5 | 4 | Полупроводниковое оборудование |
| C3 (P3) | 8 | 6 | Координатно-измерительные машины |
| C5 (P5) | 18 | 8 | Высокоточные станки с ЧПУ |
| C7 (Ct7) | 50 | — | Промышленная автоматизация |
| C10 (Ct10) | 210 | — | Транспортные системы |
Примечание: Согласно стандарту JIS B 1192 (ISO 3408), классы C0, C1, C3 и C5 являются стандартными ISO-совместимыми классами для позиционных ШВП. Отклонение на оборот (ν2π) определяется только для позиционных классов C0-C5, для транспортных классов C7 и C10 этот параметр не регламентируется. Значения приведены для эффективной длины резьбы до 100 мм.
Стандарты различают позиционные ШВП (обозначение P в ISO или C для классов 0, 1, 3, 5 в JIS) и транспортные (обозначение T в ISO или Ct для классов 7, 10 в JIS). Позиционные передачи предназначены для высокоточных задач и изготавливаются методом прецизионного шлифования. Транспортные могут производиться накаткой и применяются там, где высокая точность не критична. Важное различие: для позиционных ШВП отклонение ν300 не накапливается по длине винта, тогда как для транспортных допускается накопление погрешности.
Понимание отклонения хода
Отклонение хода ν300 показывает максимальное отклонение фактической позиции от расчетной на участке в триста миллиметров. Для класса C0 это значение составляет 3.5 микрометра, что означает максимальное отклонение в любом направлении от расчетной траектории. Параметр ν2π (отклонение на один оборот) характеризует циклическую погрешность шага и для класса C0 составляет три микрометра.
3. Технология производства прецизионных ШВП
Существует два основных метода изготовления ШВП: накатка и шлифование. Накатка представляет собой процесс холодной пластической деформации, при котором заготовка проходит через формообразующие ролики. Метод экономичен и производителен, но обеспечивает точность не выше класса C5-C7. Прецизионные ШВП класса C0-C3 производятся исключительно методом шлифования.
Процесс изготовления шлифованных ШВП
Производство прецизионных шлифованных ШВП включает несколько технологических этапов. Первоначально заготовка проходит механическую обработку с формированием базовой геометрии. Затем следует термообработка для достижения твердости поверхности 58-62 единиц по шкале Роквелла. Этот этап критически важен, так как обеспечивает износостойкость и долговечность.
После термообработки начинается финишное шлифование. Современные шлифовальные станки с ЧПУ оснащены системами лазерного контроля и компенсации температурных деформаций. Шлифование производится последовательно: сначала черновое для снятия основного припуска, затем получистовое и финишное. На финишной стадии съем материала составляет доли микрометра за проход, что позволяет достичь шероховатости поверхности Ra 0.2-0.4 микрометра для стандартных прецизионных ШВП, а для наиболее высокоточных моделей - до Ra 0.15 микрометра.
| Этап производства | Точность размеров (мкм) | Шероховатость Ra (мкм) | Время обработки |
|---|---|---|---|
| Механическая обработка | ±50 | 3.2 | Базовое |
| Термообработка | ±20 | - | +30% |
| Черновое шлифование | ±10 | 1.0 | +40% |
| Получистовое шлифование | ±3 | 0.4 | +60% |
| Финишное шлифование | ±1 | 0.15 | +80% |
| Контроль и сборка | ±0.5 | - | +20% |
Важно: Все операции шлифования проводятся с использованием одних и тех же центрирующих баз, что обеспечивает концентричность резьбовой части и опорных шеек с точностью до одного микрометра. Это критически важно для минимизации биения при вращении.
4. Ультрапрецизионное позиционирование: достижение точности ±0.1 мкм
Достижение точности позиционирования в одну десятую микрометра (сто нанометров) требует не только высококачественной ШВП, но и комплексного подхода к конструированию системы. Сама по себе прецизионная ШВП класса C0 обеспечивает отклонение три микрометра на триста миллиметров, что недостаточно для субмикронного позиционирования.
Системный подход к прецизионному позиционированию
Для достижения точности ±0.1 мкм применяется многоуровневая система позиционирования. Первичное перемещение осуществляется прецизионной ШВП класса C0 или C1, которая обеспечивает точность на уровне нескольких микрометров. Вторичное корректирующее перемещение выполняется пьезоэлектрическими актюаторами с разрешением до одного нанометра.
Обратная связь реализуется с помощью линейных энкодеров с разрешением 0.016-0.1 микрометра или лазерных интерферометров с точностью лучше одной части на миллион. Контроллер в реальном времени анализирует отклонения и вносит коррекции, компенсируя систематические погрешности ШВП, температурные расширения и другие факторы.
Расчет суммарной погрешности
Суммарная погрешность позиционирования определяется по формуле корня из суммы квадратов составляющих:
δ_total = √(δ_ШВП² + δ_датчика² + δ_контроллера² + δ_температура² + δ_механика²)
Для системы с ШВП класса C1 (отклонение 5 мкм на 300 мм, что составляет примерно 1.67 мкм на 100 мм), энкодером 0.1 мкм, контроллером 0.05 мкм, температурной компенсацией 0.2 мкм и жесткой механикой 0.15 мкм:
δ_total = √(1.67² + 0.1² + 0.05² + 0.2² + 0.15²) ≈ 1.69 мкм на 100 мм хода
С пьезокоррекцией погрешность снижается до ±0.1 мкм в диапазоне хода пьезоэлемента.
5. Применение в высокотехнологичных отраслях
Прецизионные ШВП с субмикронной точностью находят применение в самых требовательных областях современной техники. Рассмотрим основные сферы использования этих высокоточных механизмов.
Полупроводниковая промышленность
Производство микросхем с технологическими нормами менее семи нанометров требует позиционирования фотошаблонов и пластин с точностью десятки нанометров. Литографическое оборудование использует прецизионные ШВП для перемещения столов с кремниевыми пластинами диаметром до 300 миллиметров. Системы совмещения слоев должны обеспечивать точность наложения менее трех нанометров, что достигается комбинацией ШВП класса C0 и пьезоактюаторов.
Координатно-измерительные машины
Современные КИМ предназначены для контроля геометрических параметров с точностью до одного микрометра. Прецизионные ШВП обеспечивают плавное перемещение измерительной головки без вибраций и микрорывков. Важнейшим требованием является повторяемость позиционирования, которая для класса C1 составляет менее одного микрометра.
Медицинское оборудование
В офтальмологии и нейрохирургии применяются роботизированные системы с субмикронным позиционированием. Лазерные системы коррекции зрения требуют точности позиционирования менее пяти микрометров при работе с тканями глаза. Прецизионные ШВП обеспечивают необходимую плавность и точность движения манипуляторов.
| Область применения | Требуемая точность (мкм) | Класс ШВП | Дополнительные требования |
|---|---|---|---|
| Литография полупроводников | 0.01-0.1 | C0 | Термостабильность, вакуумное исполнение |
| Электронная микроскопия | 0.01-0.05 | C0 | Отсутствие вибраций, ультравысокий вакуум |
| Прецизионная обработка оптики | 0.1-0.5 | C0-C1 | Высокая жесткость, термокомпенсация |
| КИМ высокой точности | 0.5-2.0 | C1-C3 | Повторяемость, низкое трение |
| Лазерная хирургия | 5-20 | C3-C5 | Плавность хода, биосовместимость |
| Сборка микроэлектроники | 10-50 | C3-C5 | Быстродействие, повторяемость |
Научные исследования
Сканирующая зондовая микроскопия, рентгеновская дифрактометрия, спектроскопия высокого разрешения - все эти методы исследования требуют прецизионного позиционирования образцов и детекторов. Исследовательское оборудование часто работает в экстремальных условиях: глубокий вакуум, криогенные температуры или сильные магнитные поля. Прецизионные ШВП специального исполнения способны функционировать в таких условиях, обеспечивая требуемую точность.
6. Факторы, влияющие на точность позиционирования
Достижение субмикронной точности требует учета множества факторов, каждый из которых может внести значительный вклад в суммарную погрешность. Рассмотрим основные источники ошибок и методы их компенсации.
Температурные эффекты
Температурное расширение материалов является одним из главных ограничивающих факторов. Стальной винт длиной один метр при изменении температуры на один градус Цельсия изменяет свою длину на двенадцать микрометров. Для компенсации используются материалы с низким коэффициентом теплового расширения (инвар, керамика), активные системы охлаждения и алгоритмическая компенсация температурного дрейфа.
Расчет температурного расширения
Изменение длины винта определяется формулой: ΔL = α × L × ΔT
где α - коэффициент линейного расширения (для стали 12×10⁻⁶ /°C), L - длина винта, ΔT - изменение температуры.
Для стального винта длиной 1000 мм при изменении температуры на 1°C:
ΔL = 12×10⁻⁶ × 1000 × 1 = 0.012 мм = 12 мкм
Использование инвара (α ≈ 1.2×10⁻⁶ /°C) снижает расширение в 10 раз до 1.2 мкм.
Предварительный натяг
Устранение люфта между шариками и дорожками качения критично для прецизионного позиционирования. Предварительный натяг создается за счет смещения двух гаек или использования шариков увеличенного диаметра. Согласно рекомендациям производителей, оптимальный натяг составляет около одной трети от максимальной осевой нагрузки. Максимальный предварительный натяг не должен превышать десять процентов от базовой динамической грузоподъемности в осевом направлении. Избыточный натяг приводит к повышенному трению, нагреву и ускоренному износу, недостаточный - к люфту и потере точности.
Жесткость системы
Упругие деформации элементов конструкции под нагрузкой вносят существенный вклад в погрешность. Прогиб винта под действием собственного веса и рабочей нагрузки должен быть минимизирован. Для длинных винтов применяется центральная поддержка или натяжение. Жесткость подшипниковых опор также играет важную роль - радиальная жесткость должна быть на порядок выше осевой.
| Источник погрешности | Величина влияния (мкм) | Метод компенсации | Эффективность |
|---|---|---|---|
| Погрешность шага винта | 1-5 | Прецизионное шлифование, класс C0-C1 | 95% |
| Температурное расширение | 5-50 | Термокомпенсация, инвар, охлаждение | 90% |
| Упругие деформации | 0.5-10 | Увеличение жесткости, центральная опора | 85% |
| Люфт при реверсе | 0.5-5 | Предварительный натяг | 99% |
| Биение винта | 0.5-3 | Точная балансировка, высокоточные подшипники | 90% |
| Вибрации | 0.1-2 | Виброизоляция, демпфирование | 95% |
| Аббе-погрешность | 0.5-5 | Минимизация плеча, компенсация в контроллере | 80% |
Динамические факторы
При движении возникают инерционные силы, которые могут вызывать колебания и перерегулирование. Критическая скорость вращения винта определяется его длиной, диаметром и способом закрепления. Превышение критической скорости приводит к резонансным колебаниям и потере точности. Современные системы управления используют адаптивные алгоритмы с компенсацией трения и упреждающим регулированием.
7. Методы контроля и измерения точности
Верификация точности прецизионных ШВП требует применения высокоточных измерительных средств и методик. Основные контролируемые параметры включают погрешность шага, биение, предварительный натяг и момент трения.
Лазерная интерферометрия
Лазерный интерферометр является эталонным средством измерения линейных перемещений. Метод основан на интерференции световых волн и обеспечивает точность измерения лучше одной части на миллион. Современные интерферометры имеют разрешение пять-десять нанометров и используются для калибровки координатно-измерительных машин и станков с ЧПУ.
При контроле ШВП интерферометр измеряет фактическое перемещение стола и сравнивает с заданным. Разница составляет погрешность позиционирования. Измерения проводятся в прямом и обратном направлении для оценки гистерезиса и люфта. Типичная процедура включает измерение в тридцати-пятидесяти точках по всей длине хода с последующей статистической обработкой данных.
Линейные энкодеры
Линейные энкодеры обеспечивают обратную связь в замкнутых системах управления. Оптические энкодеры с дифракционной решеткой обеспечивают разрешение от двадцати нанометров до одного микрометра в зависимости от типа. Магнитные энкодеры более устойчивы к загрязнениям, но имеют меньшее разрешение - обычно пять-десять микрометров.
Пример измерения точности
При контроле ШВП длиной один метр класса C1 проводятся измерения в одиннадцати точках с шагом сто миллиметров. В каждой точке выполняется пять подходов с прямого и обратного направления. Результаты показали максимальное отклонение 4.2 мкм на участке 300 мм, что соответствует требованиям класса C1 (допуск 5 мкм). Повторяемость позиционирования составила 0.8 мкм, биение винта - 1.5 мкм.
Контроль геометрических параметров
Радиальное и торцевое биение измеряется с помощью индикаторов часового типа с ценой деления один микрометр или бесконтактных датчиков. Винт устанавливается на призмах или в центрах, и производится измерение при медленном вращении. Для класса C0 допустимое радиальное биение резьбовой части относительно опорных шеек не превышает пяти микрометров на длине до одного метра.
8. Техническое обслуживание и условия эксплуатации
Сохранение проектной точности прецизионных ШВП в процессе эксплуатации требует соблюдения строгих правил обслуживания и создания соответствующих условий работы.
Смазка и защита от загрязнений
Качество смазки напрямую влияет на точность и долговечность. Для прецизионных применений используются специальные консистентные смазки на основе литиевого мыла с добавлением дисульфида молибдена или PTFE. Интервал повторной смазки зависит от интенсивности работы и обычно составляет от двух тысяч до двадцати тысяч часов наработки.
Попадание абразивных частиц в зону контакта шариков с дорожками качения недопустимо. Используются защитные гофрированные чехлы из резины или металла, лабиринтные уплотнения, продувка сжатым воздухом. В особо чистых условиях (чистые комещения класса ISO 3-5) применяются специальные низкопылящие смазки и материалы.
Температурный режим
Стабильность температуры критична для субмикронной точности. Колебания температуры не должны превышать плюс-минус пол градуса Цельсия в час. В прецизионных применениях используются климатические камеры с поддержанием температуры с точностью плюс-минус 0.1 градуса. Винт должен быть термически стабилизирован перед проведением точных измерений - время термостабилизации составляет от тридцати минут до двух часов.
Критически важно: При работе прецизионных ШВП в условиях значительных температурных колебаний необходима система активной компенсации теплового расширения. Это достигается измерением температуры винта датчиками и внесением поправок в систему управления на основе математической модели теплового расширения.
Контроль состояния
Периодический контроль точности позиционирования позволяет выявить износ на ранней стадии. Признаками износа являются увеличение момента трения, появление люфта, рост шума и вибраций. Рекомендуется проводить калибровку с помощью лазерного интерферометра ежегодно или после каждых пяти тысяч часов работы. При обнаружении отклонений более чем в два раза от первоначальных значений требуется замена гайки или всей передачи.
| Параметр обслуживания | Периодичность | Критерий оценки | Действие при отклонении |
|---|---|---|---|
| Визуальный осмотр | Ежемесячно | Отсутствие повреждений защиты | Замена защитных элементов |
| Проверка момента трения | Ежеквартально | Отклонение не более 20% от номинала | Смазка, проверка предварительного натяга |
| Контроль люфта | Раз в полгода | Люфт менее 2 мкм для класса C1 | Регулировка натяга, замена гайки |
| Калибровка точности | Ежегодно | Соответствие классу точности | Компенсация погрешности или замена |
| Повторная смазка | 2000-10000 часов | Чистота смазки | Удаление старой смазки и повторное смазывание |
| Проверка биения | Ежегодно | Радиальное биение в допуске | Балансировка, замена подшипников |
Подбор и приобретение компонентов ШВП
Комплексные решения для прецизионных систем
Для реализации высокоточных систем позиционирования требуется тщательный подбор всех компонентов шарико-винтовой передачи. В нашем каталоге представлен широкий ассортимент шарико-винтовых передач различных классов точности, включая прецизионные ШВП Hiwin, соответствующие международным стандартам качества. Каталог включает винты ШВП популярных типоразмеров: SFU-R1204, SFU-R1605, SFU-R1610, SFU-R2005, SFU-R2010, SFU-R2505, SFU-R2510, SFU-R3205, SFU-R3210, SFU-R4005, SFU-R4010, SFU-R5010 и SFU-R6310.
Для обеспечения корректной работы прецизионных систем необходим правильный подбор сопутствующих компонентов. В ассортименте представлены гайки ШВП различных диаметров от 12 мм, 16 мм, 20 мм, 25 мм, 32 мм, 36 мм, 40 мм, 50 мм до 63 мм, включая гайки серий DFU и SFU. Для надежной установки винтов доступны опоры ШВП различных типоразмеров: 8 мм, 10 мм, 12 мм, 15 мм, 17 мм, 20 мм, 25 мм и 30 мм, включая опоры серий BK, BF, FK и FF. Также в каталоге представлены специализированные держатели для гаек ШВП, обеспечивающие жесткое и точное крепление в составе линейных модулей и координатных столов.
Часто задаваемые вопросы
Для достижения точности позиционирования плюс-минус 0.1 микрометра недостаточно использовать только прецизионную ШВП, даже класса C0. Требуется комплексная система, включающая ШВП класса C0 или C1 в качестве основного привода (с отклонением 3.5-5 мкм на 300 мм), линейный энкодер высокого разрешения (0.016-0.1 мкм) для обратной связи, и пьезоэлектрические актюаторы для финальной коррекции позиции. Также необходимы жесткая механическая конструкция, температурная компенсация и система управления с точными алгоритмами компенсации погрешностей.
Накатные ШВП изготавливаются методом холодной пластической деформации, при котором резьба формируется прокаткой заготовки между роликами. Этот метод экономичен и производителен, но обеспечивает точность классов C5-C7 и выше (отклонение от 18 мкм на 300 мм). Шлифованные ШВП производятся прецизионным шлифованием после термообработки, что позволяет достичь классов точности C0-C5 (отклонение от 3.5 до 18 мкм на 300 мм). Шлифованные ШВП также имеют лучшую концентричность, меньшее биение и более гладкую поверхность дорожек качения с шероховатостью Ra 0.2-0.4 мкм против Ra 1.0-3.2 мкм у накатных.
Температурное расширение является одним из главных источников погрешности. Стальной винт длиной один метр изменяет свою длину на 12 микрометров при изменении температуры всего на один градус Цельсия. Это на два порядка больше, чем требуемая точность в 0.1 микрометра. Для компенсации применяют материалы с низким коэффициентом теплового расширения (инвар), активное охлаждение, температурную стабилизацию помещения плюс-минус 0.1 градуса, а также алгоритмическую компенсацию на основе измерения температуры винта датчиками.
Периодичность обслуживания зависит от интенсивности эксплуатации. Визуальный осмотр рекомендуется проводить ежемесячно, проверку момента трения и люфта - раз в квартал или полгода, калибровку точности с помощью лазерного интерферометра - ежегодно или после каждых пяти тысяч часов работы. Повторная смазка требуется каждые две-десять тысяч часов в зависимости от условий работы. Важно следить за признаками износа: увеличение момента трения, появление люфта, рост шума и вибраций. При отклонении параметров более чем в два раза от исходных значений требуется замена компонентов.
Субмикронная точность критически важна в полупроводниковой промышленности для литографического оборудования при производстве микросхем с нормами менее семи нанометров, в электронной микроскопии для позиционирования образцов, в прецизионной обработке оптики для изготовления линз и зеркал, в координатно-измерительных машинах высокой точности, в научных исследованиях - сканирующей зондовой микроскопии, рентгеновской дифрактометрии. Также применяются в медицинском оборудовании - лазерных системах коррекции зрения и роботизированных хирургических системах.
Предварительный натяг - это создание постоянного осевого усилия между шариками и дорожками качения для устранения люфта в передаче. Без натяга существует зазор между шариками и дорожками, что приводит к потере точности при реверсировании и позиционировании. Натяг создается использованием двух смещенных гаек или шариков увеличенного диаметра. Согласно стандарту JIS B 1192 и рекомендациям производителей, оптимальный натяг составляет около одной трети от максимальной осевой рабочей нагрузки. Максимальный предварительный натяг не должен превышать десять процентов от базовой динамической грузоподъемности. Правильный натяг устраняет люфт, повышает жесткость системы и улучшает повторяемость позиционирования, но избыточный натяг увеличивает трение, нагрев и износ.
Для достижения субмикронной точности применяются высокоточные системы измерения. Линейные оптические энкодеры с дифракционной решеткой обеспечивают разрешение от 0.016 до 0.1 микрометра, некоторые модели достигают разрешения пять нанометров с электронной интерполяцией. Лазерные интерферометры являются эталонным средством измерения с точностью лучше одной части на миллион и разрешением пять-десять нанометров. Для особо требовательных применений используются двухкоординатные системы измерения, которые компенсируют угловые погрешности и горизонтальное биение. Магнитные энкодеры имеют меньшее разрешение пять-десять микрометров, но более устойчивы к загрязнениям.
Попадание абразивных частиц является критичным для точности и долговечности. Основные методы защиты включают гофрированные защитные чехлы из резины или нержавеющей стали, которые полностью закрывают винт, лабиринтные уплотнения в гайке, предотвращающие попадание пыли в зону контакта шариков, продувку зоны винта фильтрованным сжатым воздухом под избыточным давлением. В условиях чистых помещений класса ISO 3-5 используются специальные низкопылящие смазки и материалы уплотнений. Регулярная очистка внешних поверхностей и своевременная замена защитных элементов также важны для предотвращения загрязнения.
Отказ от ответственности
Данная статья носит исключительно ознакомительный и информационный характер. Информация предоставлена на основе общедоступных источников и не является руководством к действию. Автор не несет ответственности за любые последствия, возникшие в результате использования информации из данной статьи. При проектировании, выборе и эксплуатации прецизионных шарико-винтовых передач необходимо руководствоваться официальной технической документацией производителей, действующими стандартами и консультироваться со специалистами.
Источники информации
Статья подготовлена на основе следующих источников:
- ISO 3408 - Международный стандарт шарико-винтовых передач
- JIS B1192 - Японский промышленный стандарт для ШВП
- THK Technical Documentation - Техническая документация производителя
- NSK Precision Ball Screws - Документация по прецизионным ШВП
- Linear Motion Tips - Образовательный ресурс по линейному движению
- PI (Physik Instrumente) - Документация по нанопозиционированию
- Scientific publications on precision positioning systems
