Производство по чертежам Подбор аналогов Цены производителя Оригинальная продукция в короткие сроки
INNERпроизводство и поставка промышленных комплектующих и оборудования
Отзыв ★★★★★ Будем благодарны за отзыв в Яндексе — это помогает нам развиваться Оставить отзыв →
Правовая информация Условия использования технических материалов и калькуляторов Правовая информация →
INNER
Контакты

Подшипники и ШВП в координатно-измерительных машинах Zeiss и Hexagon

  • 16.03.2026
  • Познавательное

1. Введение: роль прецизионных компонентов в КИМ

Координатно-измерительные машины (КИМ) мостового типа являются основным инструментом контроля качества в высокоточном производстве. Машины ведущих производителей -- Carl Zeiss Industrial Metrology и Hexagon Manufacturing Intelligence -- обеспечивают погрешность измерения длины от 0,2 + L/1000 мкм (Zeiss XENOS) до 0,5 + L/500 мкм (Leitz PMM-C Xi), где L -- измеряемая длина в миллиметрах. Достижение субмикронной точности возможно лишь при использовании прецизионных компонентов: аэростатических направляющих, шарико-винтовых передач высших классов точности, прецизионных подшипников и высокоразрешающих линейных энкодеров.

В данной статье подробно рассмотрены конструктивные решения по направляющим, приводам и системам обратной связи, применяемые в моделях КИМ Zeiss (CONTURA, ACCURA, PRISMO) и Hexagon (Global, Leitz PMM-C), с указанием классов точности комплектующих и стандартов, которым они соответствуют.

Точность КИМ определяется совокупностью факторов: жёсткостью конструкции, качеством направляющих, точностью привода, разрешением измерительных шкал, термостабильностью и системой виброизоляции. Ни один компонент в отдельности не гарантирует заявленную точность -- критична именно системная интеграция всех элементов.

2. Аэростатические (воздушные) направляющие в КИМ

2.1. Принцип работы

Аэростатические подшипники (air bearings) являются основным типом направляющих в большинстве мостовых КИМ. Принцип действия основан на подаче сжатого воздуха через систему калиброванных отверстий (дросселей) в плоской поверхности подшипника. Между подшипником и направляющей поверхностью (как правило, гранитной) формируется воздушная плёнка, обеспечивающая бесконтактное перемещение подвижных узлов.

Ключевое преимущество аэростатических направляющих -- полное отсутствие механического трения. Это исключает износ, нагрев от трения и связанные с ним термические деформации, обеспечивает плавное перемещение без рывков и вибрации.

2.2. Конструктивные особенности

В мостовых КИМ аэростатические подшипники устанавливаются на всех трёх осях (X, Y, Z). Zeiss использует четырёхстороннюю компоновку воздушных подшипников (4-sided air bearings) на осях КИМ CONTURA, PRISMO, MICURA и ACCURA. Такая схема охватывает направляющую с четырёх сторон, обеспечивая максимальную жёсткость и устойчивость к опрокидывающим моментам.

В КИМ Hexagon серий Global и Leitz PMM-C применяются предварительно нагруженные воздушные подшипники (preloaded air bearings) на всех осях. Предварительный натяг создаёт стабильный зазор воздушной плёнки и исключает колебания при динамических нагрузках.

2.3. Требования к сжатому воздуху

Для корректной работы аэростатических направляющих критически важно качество сжатого воздуха. Согласно спецификациям Zeiss CONTURA, качество воздуха должно соответствовать ISO 8573-1, класс 4: максимальный размер частиц 15 мкм, концентрация не более 8 мг/м3, точка росы под давлением не выше +3 C, содержание масла не более 5 мг/м3. Давление подачи: 6-8 бар. Расход: до 50 нл/мин (CONTURA X900/1200) или до 120 нл/мин (CONTURA X700/1000).

Практический пример: Попадание масла в систему воздушных подшипников КИМ быстро приводит к засорению и деградации воздушных линий, потере точности и полной неподвижности машины. Рекомендуется устанавливать дополнительные фильтрующие модули и мембранные осушители непосредственно перед входом в КИМ.
ПараметрТребование (ISO 8573-1, класс 4)Примечание
Макс. размер частиц15 мкмКласс 4 по твёрдым частицам
Концентрация частицне более 8 мг/м3--
Точка росы под давлениемне выше +3 CКласс 4 по влажности
Содержание маслане более 5 мг/м3Класс 4 по маслу
Давление подачи6-8 барПо спецификации Zeiss CONTURA

3. Роликовые направляющие класса P в КИМ

3.1. Области применения

Роликовые линейные направляющие применяются в КИМ, предназначенных для работы в производственном цехе, где поддержание качества сжатого воздуха затруднено, а также в крупногабаритных портальных машинах (серии Zeiss MMZ, Hexagon DEA) с повышенной грузоподъёмностью.

Ведущие производители прецизионных роликовых направляющих для метрологического оборудования: THK (Япония), HIWIN (Тайвань) и Schneeberger (Швейцария). Направляющие выпускаются в классах точности: нормальный (N), высокий (H), прецизионный (P), сверхпрецизионный (SP) и ультрапрецизионный (UP).

3.2. Классы точности линейных направляющих

Класс точностиОбозначениеДопуск высоты каретки, мкмТипичное применение
НормальныйN+/-20Станки общего назначения
ВысокийH+/-10Прецизионные станки
ПрецизионныйP+/-5КИМ, измерительные машины
СверхпрецизионныйSP+/-3Ультраточные КИМ
УльтрапрецизионныйUP+/-2Эталонные машины

Направляющие с перекрёстными роликами THK (серии VR, VRT) обеспечивают высокую жёсткость благодаря чередованию осей вращения роликов под углом 90 градусов. Роликовые каретки HIWIN и линейные роликовые направляющие THK серий SRG и SRN обеспечивают прямолинейность перемещения до единиц микрометров на длине 1 м в высших классах точности.

4. Шарико-винтовые передачи (ШВП) классов C0-C1

4.1. Назначение ШВП в КИМ

Шарико-винтовые передачи преобразуют вращательное движение серводвигателя в линейное перемещение подвижных узлов КИМ. В Leitz PMM-C от Hexagon привод осей реализован на рециркуляционных ШВП с центрально расположенным шпинделем, что обеспечивает быстрое измерение при сохранении позиционной точности. Альтернативные решения -- ременные приводы (Hexagon Global) и линейные двигатели (Zeiss XENOS).

4.2. Классы точности ШВП

Точность ШВП определяется стандартами JIS B 1192 (Япония) и DIN ISO 3408 (Европа). По JIS B 1192 для позиционирующих ШВП установлены классы C0, C1, C3 и C5, для транспортных -- C7 и C10. В стандарте DIN ISO 3408 аналогичные классы обозначаются числами 1, 3, 5 для позиционирующих (P) и 7, 10 для транспортных (T). Чем меньше число, тем выше точность. Класс C0 является наивысшим в системе JIS и не имеет прямого аналога в DIN ISO 3408.

Класс JIS B 1192Эквивалент DIN ISO 3408v300p (колебание на 300 мм), мкм*Типичное применение
C0Нет прямого аналога3,5Эталонные КИМ, ультраточное оборудование
C1Класс 1 (P1)4Высокоточные КИМ, прецизионные станки
C3Класс 3 (P3)6КИМ общего назначения, обрабатывающие центры
C5Класс 5 (P5)8Обрабатывающие центры, фрезерные станки
C7Класс 7 (T7)50 (v300)**Транспортные системы
C10Класс 10 (T10)210 (v300)**Транспортные механизмы

* Значения v300p для C0-C5 приведены для типичных диаметров винтов (до 50 мм) и зависят от номинального диаметра. Точные значения -- по JIS B 1192-3:2018.
** Для C7, C10 точность определяется погрешностью хода v300 на 300 мм.

ШВП классов C0-C5 изготавливаются исключительно методом шлифования, а не накатки. Накатанные ШВП (классы Ct) имеют существенно более широкие допуски и не пригодны для метрологического оборудования.

Для КИМ высшего класса применяются прецизионные ШВП THK и решения от HIWIN серий DFSH и DFSV с предварительным натягом для устранения осевого люфта.

4.3. Предварительный натяг ШВП

Для устранения осевого зазора в прецизионных ШВП применяется предварительный натяг (preload). Натяг создаётся двойной гайкой или смещением шариковых дорожек. Согласно JIS B 1192, момент натяга и его колебания нормируются для каждого класса точности.

Оценка момента предварительного натяга (упрощённая формула):
T = (Fa x Ph) / (2 x pi x eta)
где T -- момент (Н*м), Fa -- сила натяга (Н), Ph -- ход винта (м), eta -- КПД (~0,9).
Пример: Fa = 3000 Н, Ph = 10 мм = 0,01 м: T = (3000 x 0,01) / (2 x 3,14159 x 0,9) = 5,3 Н*м.
Для точного расчёта следует использовать формулы из каталога конкретного производителя ШВП.

5. Прецизионные подшипники ABEC-7/ABEC-9

5.1. Классификация

В КИМ подшипники используются в опорах ШВП, поворотных столах и шпиндельных головках щупов. Система классификации ABEC (ABMA) устанавливает пять классов: ABEC 1, 3, 5, 7 и 9. Эквивалентные стандарты: ISO 492 (классы Normal, 6, 5, 4, 2), DIN 620 (P0, P6, P5, P4, P2), JIS B 1514. Чем выше номер ABEC, тем жёстче допуски. В ISO и DIN -- наоборот: чем меньше число, тем выше точность.

ABECISO 492DIN 620Макс. биение (d 1-18 мм), мкмОбласть применения
ABEC 1Класс NormalP010Общее машиностроение
ABEC 3Класс 6P67Электродвигатели, насосы
ABEC 5Класс 5P54Станки средней точности
ABEC 7Класс 4P42,5Высокоточные станки, КИМ
ABEC 9Класс 2P21,5Эталонные КИМ, авиаприборы

Значения радиального биения по ABMA Standard 20 для диаметров внутреннего кольца 1-18 мм.

5.2. Типы подшипников в КИМ

В опорах ШВП используются радиально-упорные шариковые подшипники с углом контакта 15-25 градусов, установленные попарно по схеме "спина к спине" (DB) или "тандем" (DT). Среди производителей суперпрецизионных подшипников: NSK, SKF, Schaeffler/FAG, GMN, Barden и SNFA.

Для узлов КИМ также применяются высокоскоростные роликовые подшипники, двухрядные роликовые подшипники и кассетные роликовые подшипники.

6. Линейные энкодеры: стеклянные и стеклокерамические шкалы

6.1. Роль энкодеров

Линейные энкодеры обеспечивают обратную связь по положению каждой оси КИМ. В современных машинах используются оптические энкодеры на стеклянных или стеклокерамических шкалах с шагом штрихов от 4 до 20 мкм. Ведущие производители: Dr. Johannes Heidenhain GmbH (Германия) и Renishaw plc (Великобритания). Hexagon применяет шкалы METALLUR в серии Global с разрешением 0,005 мкм (5 нм). Leitz Infinity использует шкалы с разрешением 0,001 мкм (1 нм).

6.2. Типы шкал

Стеклянные шкалы (боросиликатное стекло) имеют КТР около 8 x 10-6 K-1. Стеклокерамические шкалы (ZERODUR от Schott, ROBAX) -- КТР практически нулевой: 0 +/- 0,1 x 10-6 K-1. Zeiss CONTURA использует "плавающие" стеклокерамические шкалы, не требующие дополнительной температурной компенсации. В Zeiss PRISMO и PRISMO fortis применяются шкалы ZERODUR.

ПараметрСтеклянная шкалаСтеклокерамика (ZERODUR)Стальная лента
КТР, x10-6 K-1~80 +/- 0,1~10-12
Макс. длинадо 3 мдо 3 мдо 30 м и более
Точность (Heidenhain)+/-3 ... +/-5 мкм/м+/-0,5 ... +/-1 мкм/м+/-5 ... +/-10 мкм/м
Разрешение (после интерполяции)до 1 нмдо 1 нмдо 0,1 мкм

7. Компоненты КИМ Zeiss: CONTURA, ACCURA, PRISMO

7.1. Zeiss CONTURA

Zeiss CONTURA -- универсальная мостовая КИМ среднего класса. Диапазоны: от 7/7/6 до 12/24/10 (X/Y/Z, дм). E0 от 1,5 + L/350 мкм.

  • Направляющие: керамические или CARAT (DLC-покрытие алюминия) -- высокая жёсткость, низкий КТР, минимальный вес
  • Четырёхсторонние воздушные подшипники Zeiss на всех трёх осях
  • Плавающие стеклокерамические шкалы -- практически нулевое тепловое расширение, без доп. температурных датчиков
  • CAA (Computer-Aided Accuracy) -- коррекция динамических инерционных эффектов при сканировании
  • Температурный диапазон: 18-26 C (с опцией HTG)

7.2. Zeiss ACCURA

Модульная мостовая КИМ для средних и крупных деталей. Диапазоны: от 9/12/8 до 20/42/15. E0 от 1,2 + L/350 мкм. Мост из стали и алюминия с покрытием CARAT. Воздушные подшипники на всех осях. Доступна опция работы без сжатого воздуха (механические подшипники качения).

7.3. Zeiss PRISMO

Флагманская линейка для измерений с допусками в 1 мкм и менее. Диапазоны: от 7/9/5 до 16/42/10. E0 от 0,9 + L/350 мкм (PRISMO), от 0,5 + L/500 мкм (PRISMO ultra). Скорость сканирования до 300 мм/с.

  • Оптимизированная интеграция воздушных подшипников
  • Плавающие шкалы ZERODUR (стеклокерамика Schott)
  • Мост: керамика и DLC-алюминий для минимальной массы
  • Контроллер C99m (снижение энергопотребления на 64%)
  • PRISMO fortis -- работа при температуре до 40 C
Модель ZeissE0, мкмНаправляющиеШкалыДиапазон, дм
CONTURAот 1,5 + L/350Воздушные, 4-стор.Стеклокерамика (плав.)7/7/6 -- 12/24/10
ACCURAот 1,2 + L/350ВоздушныеСтеклокерамика9/12/8 -- 20/42/15
PRISMOот 0,9 + L/350Воздушные, оптим.ZERODUR (плав.)7/9/5 -- 16/42/10
PRISMO ultraот 0,5 + L/500Воздушные, оптим.ZERODUR (плав.)7/9/5 -- 16/42/10
XENOS0,2 + L/1000ВоздушныеВысокоразреш.9/15/7

XENOS: карбидокремниевая (SiC) керамика, линейные приводы на всех осях, виртуальный центральный привод по Y. E0 по Carl Zeiss IMT.

8. Компоненты КИМ Hexagon: Global, Leitz PMM-C

8.1. Hexagon Global

Серия Global -- универсальные мостовые КИМ с конфигурациями Touch+, Scan+, Optics, Speed, Precision, Flexibility.

  • Гранитное основание со встроенной направляющей типа "ласточкин хвост"
  • Траверса треугольного сечения -- оптимальное соотношение жёсткости к массе
  • Предварительно нагруженные воздушные подшипники на всех осях
  • Привод: ременная система (плоские и поликлиновые ремни)
  • Шкалы METALLUR с разрешением 0,005 мкм (5 нм)
  • Температурная компенсация: датчики на шкалах и заготовке

8.2. Hexagon Leitz PMM-C

Ультраточные КИМ с замкнутой рамной конструкцией (closed-frame). Гранитное основание, неподвижный портал из чугунных стоек, гранитная траверса.

МодельE0, мкмНаправляющиеПривод
Leitz PMM-C Xi0,5 + L/500Воздушные, преднатягШВП рециркуляционные
Leitz PMM-C0,5 + L/700Воздушные, преднатягШВП рециркуляционные
Leitz Ultra0,4 + L/850Воздушные, преднатягШВП рециркуляционные
Leitz Infinity0,3 + L/1000Воздушные, преднатягШВП рециркуляционные

E0 по данным Hexagon (hexagon.com/products/leitz-pmm-c-line).

  • Подвижный стол на предварительно нагруженных воздушных подшипниках с центральным ШВП-приводом
  • Шкалы: 0,001 мкм (1 нм) у Leitz Infinity
  • Активная пневматическая виброизоляция
  • Eco Mode+ -- снижение расхода воздуха до 100% в простое
  • Throughput+ -- ускорение до 20%
  • Опция XT -- работа 18-24 C без климатической камеры

9. Сравнительная таблица решений Zeiss и Hexagon

ПараметрZeiss (CONTURA / PRISMO)Hexagon (Global / Leitz PMM-C)
Тип направляющихАэростатические, 4-сторонниеАэростатические, преднатяг
Материал направляющих/мостаКерамика / CARAT (DLC-алюминий)Гранит + чугун/гранит (портал)
Привод осейЛинейные двигатели (XENOS); не раскрыт (CONTURA/PRISMO)Ременный (Global); ШВП (Leitz PMM-C)
Измерительные шкалыСтеклокерамика ZERODUR, плавающее креплениеMETALLUR 5 нм (Global); 1 нм (Leitz Infinity)
Лучшая точность E00,2 + L/1000 мкм (XENOS)0,3 + L/1000 мкм (Leitz Infinity)
СтолГранитный, неподвижныйНеподвижный (Global); подвижный (Leitz PMM-C)
ВиброизоляцияСтандартная пассивнаяАктивная пневматическая (Leitz PMM-C)
Макс. скорость сканированиядо 300 мм/с (PRISMO)до 400 мм/с (Leitz PMM-C)

10. Обслуживание прецизионных узлов КИМ

10.1. Воздушные подшипники

Аэростатические направляющие не имеют изнашиваемых деталей, однако требуют регулярного контроля качества сжатого воздуха: замена фильтров, контроль точки росы, проверка герметичности магистралей.

10.2. Шарико-винтовые передачи

ШВП требуют периодической смазки. Для классов C0-C1 используются одобренные производителем консистентные смазки. Признаки износа: увеличение люфта, рост шума, повышение момента трения.

10.3. Линейные энкодеры

Оптические шкалы чувствительны к загрязнению. Запрещается касаться поверхности шкал и сканирующих головок.

Верификация КИМ проводится по ISO 10360 (ISO 10360-2 для линейных измерений, ISO 10360-5 для многощуповых систем). Типичная периодичность: 6-12 месяцев, промежуточные проверки -- еженедельно или ежемесячно.

Комплектующие для прецизионного оборудования

11. Вопросы и ответы (FAQ)

Аэростатические подшипники обеспечивают бесконтактное перемещение, полностью исключая трение, износ и нагрев. Это критически важно для субмикронных измерений. Роликовые направляющие применяются в крупногабаритных КИМ и в условиях, когда обеспечение качественного сжатого воздуха затруднено.
C0 -- наивысший класс по JIS B 1192, не имеющий прямого аналога в DIN ISO 3408. Допуск v300p на 300 мм: C0 -- 3,5 мкм, C1 -- 4 мкм (для типичных диаметров). Оба класса изготавливаются шлифованием. C0 применяется в эталонном оборудовании, C1 -- в высокоточных КИМ.
Для КИМ общего назначения (E0 ~ 2-3 мкм): 0,1-0,5 мкм. Для высокоточных (E0 менее 1 мкм): 5-50 нм. Hexagon Global -- 5 нм (METALLUR). Leitz Infinity -- 1 нм. Выбор должен быть согласован с другими источниками погрешности.
ZERODUR (Schott, Германия) имеет КТР 0 +/- 0,1 x 10-6 K-1. Для сравнения, сталь расширяется на 10-12 мкм/м при изменении температуры на 1 C. "Плавающие" шкалы ZERODUR в Zeiss CONTURA и PRISMO позволяют работать без дополнительной компенсации линейного расширения шкал.
Global использует ременной привод -- плавный, маловибрационный, малообслуживаемый. Leitz PMM-C -- серводвигатели с рециркуляционными ШВП: высокая жёсткость привода, быстрое позиционирование даже на коротких участках хода.
ABEC 9 (ISO 492 класс 2, DIN P2) -- наивысший стандартный класс точности по ABMA Standard 20. Макс. биение для d=1-18 мм: 1,5 мкм. Применяется в шпинделях сверхточных станков и авиаприборах. В большинстве КИМ достаточно ABEC 7 (ISO класс 4, биение 2,5 мкм).
Полная верификация по ISO 10360: раз в 6-12 месяцев. Промежуточные проверки (interim checks) с эталонными сферами и концевыми мерами: еженедельно/ежемесячно. Внеплановая -- после перемещения машины, замены компонентов или столкновения щупа.
6-8 бар. Качество -- ISO 8573-1 класс 4 или выше. Расход: 50-120 нл/мин (Zeiss CONTURA). Функции AirSaver (Zeiss) и Eco Mode+ (Hexagon) отключают подачу воздуха в простое.
Замена типа направляющих требует переработки конструкции и, как правило, нецелесообразна. Возможна модернизация контроллера, ПО, сенсоров, замена ШВП и подшипников на аналогичные.
Температура -- ключевой фактор. Стандартные условия: 20 C +/- 1-2 C. Zeiss PRISMO fortis: до 40 C (ZERODUR + термокоррекция). CONTURA HTG: 18-26 C. Leitz PMM-C XT: 18-24 C. Компенсация: шкалы с нулевым КТР, датчики, математические модели.

Отказ от ответственности

Данная статья носит исключительно ознакомительный и информационный характер. Автор не несёт ответственности за любые действия, предпринятые на основании изложенной информации. Технические характеристики оборудования могут изменяться производителями без предварительного уведомления. Для получения актуальных спецификаций обращайтесь к официальным представителям производителей. Автор не несёт ответственности за возможные неточности и последствия их использования. Перед принятием инженерных решений сверяйтесь с актуальной технической документацией и действующими стандартами.

Источники

  1. ISO 3408-1:2006 Ball screws -- Part 1: Vocabulary and designation
  2. ISO 3408-3:2006 Ball screws -- Part 3: Acceptance conditions and acceptance tests
  3. ISO 3408-5:2006 Ball screws -- Part 5: Static and dynamic axial load ratings and operational life
  4. JIS B 1192-3:2018 Ball screws -- Part 3: Acceptance conditions (Japan Industrial Standards)
  5. ISO 492:2014 Rolling bearings -- Radial bearings -- GPS and tolerance values
  6. ABMA Standard 20 (ANSI/ABMA Std 20) -- Radial Bearings of Ball, Cylindrical Roller, and Spherical Roller Types
  7. ISO 10360-2:2009 GPS -- Acceptance and reverification tests for CMMs -- Part 2
  8. ISO 10360-5:2010 GPS -- Acceptance and reverification tests for CMMs -- Part 5
  9. ISO 8573-1:2010 Compressed air -- Part 1: Contaminants and purity classes
  10. DIN 620-2 Rolling bearings -- Tolerances -- Part 2
  11. THK Co., Ltd. -- Ball Screw Technical Reference (tech.thk.com)
  12. Carl Zeiss Industrial Metrology GmbH -- PRISMO Specifications (Nov. 2017), CONTURA Specifications (May 2018), XENOS product page (zeiss.com)
  13. Hexagon Manufacturing Intelligence -- Leitz PMM-C Line specifications (hexagon.com), GLOBAL S Data Sheet
  14. Dr. Johannes Heidenhain GmbH -- Linear Encoders for NC Machine Tools (каталог, 2023)
  15. Slocum A.H. Precision Machine Design. -- SME, 1992. -- ISBN 0-13-719604-2
  16. Weck M., Brecher C. Werkzeugmaschinen: Messtechnische Untersuchung und Beurteilung. -- Springer, 2006

© 2025 Компания Иннер Инжиниринг. Все права защищены.

Появились вопросы?

Вы можете задать любой вопрос на тему нашей продукции или работы нашего сайта.