Производство по чертежам Подбор аналогов Цены производителя Оригинальная продукция в короткие сроки
INNERпроизводство и поставка промышленных комплектующих и оборудования
Отзыв ★★★★★ Будем благодарны за отзыв в Яндексе — это помогает нам развиваться Оставить отзыв →
Правовая информация Условия использования технических материалов и калькуляторов Правовая информация →
INNER
Контакты

Что такое турбомолекулярный насос

  • 28.05.2026
  • Инженерные термины и определения

Турбомолекулярный насос — это высоковакуумный насос, в котором газ откачивается быстровращающимися лопатками ротора. Он создаёт высокий и сверхвысокий вакуум и работает только в паре с форвакуумным насосом. Разберём принцип, устройство и применение.

Что такое турбомолекулярный насос

Турбомолекулярный насос (ТМН) относится к классу кинетических вакуумных насосов. Откачка происходит за счёт передачи импульса молекулам газа от лопаток ротора, вращающегося с очень высокой частотой.

Конструктивно насос напоминает многоступенчатую турбину. Внутри корпуса расположены чередующиеся роторные и статорные диски с лопатками. Лопатки соседних ступеней наклонены в противоположных направлениях.

Первый практичный турбомолекулярный насос разработал инженер Вилли Беккер в 1958 году. Сегодня ТМН — стандартное средство получения чистого безмасляного вакуума в науке и промышленности.

Ключевая особенность: турбомолекулярный насос не может откачивать газ напрямую в атмосферу. Он требует предварительного разрежения, которое создаёт форвакуумный (вспомогательный) насос.

Принцип работы турбомолекулярного насоса

В основе работы лежит передача механического импульса. Молекула газа ударяется о движущуюся лопатку, кратковременно задерживается на ней и вылетает уже с добавленной скоростью в сторону выхода.

Молекулярный режим течения

ТМН работает только в условиях молекулярного течения. При этом средняя длина свободного пробега молекул должна превышать расстояние между лопатками.

В таком режиме молекулы движутся независимо и чаще сталкиваются с лопатками, чем друг с другом. Именно это обеспечивает направленную откачку газа к выходу насоса.

Частота вращения и передача импульса

Эффект откачки заметен, когда окружная скорость концов лопаток сравнима со средней тепловой скоростью молекул. Поэтому ротор раскручивают до огромных частот.

Привод — бесщёточный двигатель постоянного тока с частотным регулированием. Современные роторы вращаются с частотой до 1500 Гц (90 000 об/мин). Линейная скорость лопаток достигает сотен метров в секунду.

Устройство и типы турбомолекулярных насосов

Насос состоит из корпуса, роторного пакета лопаток, статорных дисков, привода и системы опор. Отдельная задача конструкции — удержание ротора при экстремальных оборотах.

Опоры ротора (подшипники)

Применяют три основных схемы опор. Выбор зависит от требований к чистоте вакуума, уровню вибраций и ресурсу.

  • Механические подшипники — прецизионные керамические шарикоподшипники со смазкой. Простое и надёжное решение для большинства задач.
  • Магнитный подвес — бесконтактная левитация ротора. Отсутствие трения, минимум вибраций, полностью безмасляная откачка.
  • Гибридная опора — сочетание постоянного магнитного подшипника и керамического шарикоподшипника со стороны форвакуума.

В насосах с магнитным подвесом предусмотрены страховочные подшипники, которые принимают ротор при сбое и предотвращают повреждение лопаток.

Классические и широкодиапазонные насосы

По конструкции различают два основных исполнения турбомолекулярного насоса.

Классический ТМН содержит только турбинные ступени и требует относительно глубокого форвакуума. Широкодиапазонный (комбинированный) насос дополнен молекулярной ступенью Хольвека или Геде у выхода. Это позволяет выпускать газ при более высоком давлении и применять компактный форвакуумный насос, например мембранный.

Технические параметры турбомолекулярного насоса

Ниже приведены типовые рабочие характеристики промышленных и лабораторных моделей.

Параметр Типовое значение
Рабочий диапазон давления примерно 10⁻¹ – 10⁻⁸ Па
Предельный (остаточный) вакуум до 10⁻⁹ Па и ниже (сверхвысокий вакуум)
Быстрота откачки от десятков до нескольких тысяч л/с
Частота вращения ротора до 90 000 об/мин (до 1500 Гц)
Степень сжатия по азоту порядка 10⁸ – 10⁹
Степень сжатия по водороду порядка 10² – 10⁴
Тип привода бесщёточный двигатель постоянного тока

Важная закономерность: степень сжатия высокая для тяжёлых газов и заметно ниже для лёгких. Поэтому остаточный газ в системе обычно содержит много водорода.

Где применяется турбомолекулярный насос

Турбомолекулярный вакуумный насос востребован там, где нужен чистый вакуум без следов масла.

  • Производство полупроводников — напыление, травление, ионная имплантация.
  • Аналитическое приборостроение — масс-спектрометры, электронные и ионные микроскопы.
  • Нанесение тонких плёнок — установки PVD и магнетронного напыления.
  • Научные установки — ускорители частиц, поверхностная физика, камеры сверхвысокого вакуума.
  • Контроль герметичности — гелиевые течеискатели для поиска течей.

Преимущества и недостатки турбомолекулярного насоса

Как и любое оборудование, ТМН имеет сильные и слабые стороны.

Преимущества

  • Чистый безмасляный вакуум в откачиваемом объёме.
  • Высокая и постоянная быстрота откачки в рабочем диапазоне.
  • Широкий охват давлений — от высокого до сверхвысокого вакуума.
  • Быстрый старт и компактность, особенно у моделей со встроенным контроллером.

Недостатки

  • Обязательная работа с форвакуумным насосом.
  • Чувствительность к попаданию частиц и резкому прорыву воздуха.
  • Низкая степень сжатия по лёгким газам, прежде всего по водороду.
  • У моделей с механическими подшипниками ресурс ограничен опорами.

Частые вопросы (FAQ)

Чем турбомолекулярный насос отличается от форвакуумного?
Форвакуумный насос создаёт предварительное разрежение и работает от атмосферы. Турбомолекулярный насос подключают после него, и он доводит систему до высокого и сверхвысокого вакуума.
Какой вакуум создаёт турбомолекулярный насос?
Рабочий диапазон составляет примерно от 10⁻¹ до 10⁻⁸ Па, а предельный вакуум достигает 10⁻⁹ Па и ниже. Это область высокого и сверхвысокого вакуума.
Зачем ротору такая высокая частота вращения?
Откачка возникает, когда скорость лопаток сопоставима с тепловой скоростью молекул газа. Поэтому ротор раскручивают до десятков тысяч оборотов в минуту.
Можно ли запускать насос с атмосферного давления?
Нет. ТМН работает только в молекулярном режиме течения. Сначала систему откачивают форвакуумным насосом, и лишь затем выводят турбомолекулярный на рабочие обороты.
Какие подшипники применяют в турбомолекулярных насосах?
Используют керамические шарикоподшипники, бесконтактный магнитный подвес или гибридную схему. Магнитный подвес обеспечивает минимум вибраций и полностью безмасляную откачку.

Турбомолекулярный насос — основной инструмент получения высокого и сверхвысокого вакуума. Он сочетает чистую безмасляную откачку, широкий диапазон давлений и стабильную быстроту откачки.

При подборе оборудования учитывают тип опор ротора, требуемую быстроту откачки и параметры форвакуумного насоса. Понимание принципа работы помогает грамотно интегрировать ТМН в вакуумную систему.

Статья носит ознакомительный и образовательный характер. Приведённые технические параметры являются типовыми и могут отличаться для конкретных моделей оборудования. Перед проектированием и эксплуатацией вакуумных систем руководствуйтесь действующими стандартами и технической документацией производителя. Автор не несёт ответственности за решения, принятые на основе данного материала.

Появились вопросы?

Вы можете задать любой вопрос на тему нашей продукции или работы нашего сайта.